一. 簡介:有鑑於市面上的很多的3D模擬軟體的Mesh生成能力都非常有限,無法按照實際的結構來生成所需要模擬的結構,Sanayi System運用其開發多年的Mesh生成
機制與Mesh Generator來創造了TSolidX這套軟體,這套軟體可以生成各種3D結構格式供其他的3D模擬軟體使用,也讓Mesh結構的生成更加地容易。
二. TSolidX產品概念:讓使用者可以很容易的去定義結構與生成方式,然後按照使用者所需要的格式去生成Mesh網格,其流程如下圖:

三.TSolidX軟體特色: 1. 可嵌入其他的結構設計工具,並且可以通過Skill語言介面直接從其他的結構編輯工具中執行; 2. 先進mesh生成技術:用多樣的結構生成功能以建立真實的結構; 3. 使用者可以定義各種堆疊資訊和處理條件(厚度,臺階覆蓋率,壓平程度,非選擇性蝕刻,蝕刻阻擋層等等條件),這些各種高階功能可以讓使用者很容易地生成準確 的3D網格結構; 4. 提供了蝕刻工藝選項,包括非選擇性蝕刻,蝕刻停止劑,濕法蝕刻功能,半色調掩模進行的部分蝕刻; 5. 提供兩種3D網格類型:Tapered與 Manhattan類型; 6. 內建Layout程式進行結構設定; 7. 具多種類型的CAx格式檔可用於匯出資料:對於實體模型,提供了step和IGES格式,對於3D三角形網格,提供了STL, Stanford triangle, Nastran, alias/wavefront/autocad dxf等,為3D四方網格提供了Nastran,ansys,Gmsh,abaqus輸入格式,為滿足客戶的需求,也可以添加特定的格式檔; 8. 通過使用變數功能可以非常輕鬆快捷地生成各種3D網格結構,可設置的變數參數:厚度,水平度(平面化),錐角和寬度,CD餘量,圓角倒圓和移位距離; 9. 支援分散式和平行計算方法。
接近於實際結構的網格生成:

內建的GDS與TX Viewer (GDS Viewer:可以檢視GDS結構與相關設定,TX Viewer:可以檢視生成的結構)

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